Magnetisch Levitatie ondergaane Turbopumps en Pompende Systemen cxf-250/2301E

Maglev Pump, CXF-250 / 2301E, Waterkoeling, aan boord

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan assen worden ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn vacuüm genererende apparatuur ontwikkeld door KYKY voor het voldoen aan de applicatie-eisen voor gebieden van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten.

Technologies:

• Besturingstechnologie voor magnetisch lager: een 5-assig magnetisch zweefde, gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om dergelijke aanzienlijke voordelen van de hogesnelheidsschachten te garanderen als een stabiel zwevende en betrouwbare werking.
• Motor Drive Control Technology: High-efficiency high-speed DC motor en servobesturingssysteem, met maximale energie van de motor en om de rotatiesnelheid van shafting automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regulerende functie van dynamische energie wordt gerealiseerd .
• Koolstofvezel composietrotortechnologie: Gemaakt door het samenstellen van een hoge sterkte aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel. gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen met een hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie: oppervlakken van onderdelen in kamers worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken corrosie kunnen weerstaan ​​die wordt veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderfabricageprocessen gedurende een lange tijd. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig opgevuld in de shafting van de pompen om de laagvacuümgedeelten in de pompen te beschermen, zodat de functie van stabiel afzuigen van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Verwarmingstemperatuurregelsysteem: uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, koelwater, luchtbotverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen kunnen tijdens bedrijf worden bewaakt en geregeld, de temperatuur in de pompen kan op een bepaalde waarde worden gehandhaafd. op lange termijn worden sommige gasvormige stoffen niet omgezet in vaste stoffen bij normale temperatuur en niet afgezet in de pompen, en kan aan de eisen voor een speciaal proces zoals etsen worden voldaan.

toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op velden van halfgeleiderproductie, clipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten, in het bijzonder voor extractie van corrosieve gassen die bestaan ​​in etsen, CVD, PVD en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk gecoaguleerd zijn bij normale temperatuur.

specificaties: