KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Het vernieuwen Wetenschappelijke Instrumenten

Het ontwikkelen zich tot Prima Ondernemingen

Thuis ProductenTurbomolecularpomp

Consumptie van de de Pomp ISO-K/CF de Lage Macht van Turbomolecular van de Maglevsmering

Certificaat
China KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. certificaten
China KYKY TECHNOLOGY CO., LTD. certificaten
Ik ben online Chatten Nu

Consumptie van de de Pomp ISO-K/CF de Lage Macht van Turbomolecular van de Maglevsmering

large.img.alt
small.img.alt

Grote Afbeelding :  Consumptie van de de Pomp ISO-K/CF de Lage Macht van Turbomolecular van de Maglevsmering

Productdetails:
Plaats van herkomst: China
Merknaam: KYKY
Certificering: CE
Modelnummer: Cxf-200/1400E
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
Min. bestelaantal: 1
Prijs: Upon request
Verpakking Details: Houten doos voor verzending overzee
Levertijd: 4weeks
Betalingscondities: T/T, L/C
Gedetailleerde productomschrijving
Flens: ISO-K/CF DN200 Het koelen: Water
Smering: Maglev Het pompen Snelheid: 1400L/s N2
Hoog licht:

turbo moleculaire pompen

,

turbomolecular vacuümpomp

Maglev-pomp, CXF-200/1400, Waterkoeling, ISO-K / CF, externe controller

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan assen worden ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn vacuüm genererende apparatuur ontwikkeld door KYKY voor het voldoen aan de applicatie-eisen voor gebieden van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten.

Technologies:

  • Besturingstechnologie voor magnetisch lager: een 5-assig magnetisch zweefde, gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om dergelijke aanzienlijke voordelen van de hogesnelheidsschachten te garanderen als een stabiel zwevende en betrouwbare werking.
  • Motor Drive Control Technology: High-efficiency high-speed DC motor en servobesturingssysteem, met maximale energie van de motor en om de rotatiesnelheid van shafting automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regulerende functie van dynamische energie wordt gerealiseerd .
  • Koolstofvezel composietrotortechnologie: Gemaakt door het samenstellen van een hoge sterkte aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel. gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen met een hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
  • Corrosiebestendige technologie: oppervlakken van onderdelen in kamers worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken corrosie kunnen weerstaan ​​die wordt veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderproductieprocessen gedurende een lange tijd. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig opgevuld met shafting van de pompen om de laagvacuümgedeelten in de pompen te beschermen, zodat de functie van stabiel afzuigen van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
  • Verwarmingstemperatuurregelsysteem: uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, koelwater, luchtbotverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen kunnen tijdens bedrijf worden bewaakt en geregeld, de temperatuur in de pompen kan op een bepaalde waarde worden gehandhaafd. op lange termijn worden sommige gasvormige stoffen niet omgezet in vaste stoffen bij normale temperatuur en niet afgezet in de pompen, en kan aan de eisen voor een speciaal proces zoals etsen worden voldaan.

De voordelen:

1. Geen wrijving tijdens het gebruik en een laag stroomverbruik

2. Makkelijk om echt schoon hoog vacuüm en ultrahoog vacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen

3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te halen

4. Hoge veiligheid en lange levensduur door bescherming van lagers met precisie keramische ballen

5. stroomopwekkende functie in geval van plotselinge uitschakeling

6. Vrij van wrijving

7. Vrij van vervuiling

8. Vrij van onderhoud

9. Lage trillingen

10. geïnstalleerd in elke richting.

toepassingen:

Extractie van bijtende gassen in ets-, CVD-, PVD- en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk gecoaguleerd zijn bij normale temperatuur op het gebied van halfgeleiderproductie, clipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten,.

specificaties:

Flens (In) DN200 CF / ISO-K, ISO-F
Flens (uit) KF DN40
Pompsnelheid (L / s) N 2 : 1400
Ar: 1360
Hij: 880
H 2 : 560
Compressieverhouding N 2 : 10 8
Ar: 10 8
Hij: 10 4
H 2 : 10 3
Ultimated Pressure (Pa) CF: 1 × 10 -6
ISO-K / F: 6 × 10 -6
Max. Continue onderdruk (Pa) 100
Max. Voor-vacuüm druk N 2 : 210
Gas door (sccm) N 2 : 2700
Ar: 980
Hij: 2000
H 2 : 1800
Rotatiesnelheid (rpm) 30000
Opstarttijd (min) ≤8
Koelingstype, standaard Water
Koelwaterverbruik (L / min) 1
Koelwatertemperatuur (℃) 20
Stroomaansluiting: spanning (V AC) 220
Controller Model CXF-1400
Gewicht (kg) 50 (ISO-K / F) 52 (CF)

Contactgegevens
KYKY TECHNOLOGY CO., LTD.

Contactpersoon: sales

Tel.: +8613810212935

Direct Stuur uw aanvraag naar ons (0 / 3000)