Magnetisch Levitatie ondergaane Turbomolecular-Vacuümpomp Lage Trilling cxf-320/3000E

Maglev-pomp, CXF-320 / 3000E, Waterr-koeling, ISO-F, externe controller

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan assen worden ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn vacuüm genererende apparatuur ontwikkeld door KYKY voor het voldoen aan de applicatie-eisen voor gebieden van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten.

Het elektromagnetische lager wordt ook "actieve magnetische zwevende beren" genoemd, bestaande uit een magnetisch lager, een sensor en een controlesysteem. Dit ontwerp heeft een dynamische respons en tijdige afstelling, de hogesnelheidsschachten en betrouwbare werking.

De voordelen:

1. Geen wrijving tijdens het gebruik en een laag stroomverbruik

2. Makkelijk om echt schoon hoog vacuüm en ultrahoog vacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen

3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te halen

4. Hoge veiligheid en lange levensduur door bescherming van lagers met precisie keramische ballen

5. stroomopwekkende functie in geval van plotselinge uitschakeling

6. Vrij van wrijving

7. Vrij van vervuiling

8. Vrij van onderhoud

9. Lage trillingen

10. geïnstalleerd in elke richting.

Technologies:

• Besturingstechniek voor magnetisch lager: 5-assig magnetisch zweefde. Dit ontwerp kan een dynamische respons hebben en tijdig worden bijgesteld door middel van dynamische actieve gesloten-circuit magnetische ophangingbesturingstechnologie gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om dergelijke aanzienlijke voordelen van de hoge snelheid shafting als stabiel zwevende en betrouwbare werking te garanderen.
• Motor Drive Control Technology: High-efficiency high-speed DC motor en servobesturingssysteem worden toegepast op serie magnetisch zweefde pompen, dus om maximale energie van de motor te hebben en om de rotatiesnelheid van shafting automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start-up wordt gerealiseerd, betrouwbare werking en automatische regelfunctie van dynamische energie.
• Koolstofvezel composietrotortechnologie: de turbo-rotoren van de moleculaire pompen met periodieke magnetische suspensie worden gemaakt door een hoge sterkte aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel samen te stellen. In vergelijking met alle rotors van aluminiumlegeringen, kenmerken de turbo-rotoren zich door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen met een hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie: oppervlakken van onderdelen in kamers met seriële magnetische suspensie moleculaire pompen worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken corrosie kunnen weerstaan ​​die wordt veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderfabricageprocessen gedurende een lange tijd. Bovendien worden dergelijke inerte gassen zoals N2 volledig opgevuld in de shafting van de pompen om de laagvacuümgedeelten in de pompen te beschermen, zodat de functie van het stabiel uitputten van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Temperatuurregelingssysteem voor verwarming: Serie magnetisch zweefde moleculaire pompen zijn uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, zodat koelwater, luchtbotverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen kunnen worden bewaakt en geregeld tijdens bedrijf, temperatuur in de pompen kunnen op lange termijn op een bepaalde waarde worden gehouden, sommige gasvormige stoffen worden bij normale temperatuur niet omgezet in vaste stoffen en niet in de pompen gedeponeerd, en aan de eisen voor een speciaal proces zoals etsen kan worden voldaan.

specificaties:

toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op velden van halfgeleiderfabricage, clipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten, in het bijzonder voor extractie van corrosieve gassen die bestaan ​​in etsen, CVD, PVD en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk gecoaguleerd zijn bij normale temperatuur.