Het ultra Hoge Vacuüm sputtert Ion Pump Oil Less 7×10-8 Pa Uiteindelijke Druk

Ionenpomp, 2L-25, DN35CF, 22L / s Lucht, 0.3L / s Ar, + 7KV, 7E-8Pa

Sputter-ion pomp is apparatuur voor het genereren van vacuüm voor het verkrijgen van schoon en ultrahoog vacuüm.

De sputter-ion-pomp is de hoofdpomp met olie, minder ultrahoog vacuüm-set.

De ionenpomp werkt in een gesloten systeem waarvoor geen continue werkende steunpomp nodig is.

Beginsel:

Materiaal van anode is roestvrij stalen vat, en materiaal van kathode istitaniumplaat. Penning-ontladingsprocessen ioniseren gas onder de gezamenlijke werking van magnetisch veld en elektrisch veld, waardoor aldus het afvoeren van gas wordt gerealiseerd.

voordelen:

Deze serie pomp heeft voordelen zoals netheid, hoog vacuüm, nulruis, trillingen nul en bedieningsgemak.

toepassingen:

Belangrijkste toepassingen zijn de wetenschappelijke experimentapparaten op het gebied van hoogenergetische deeltjesversneller, geregelde thermonucleaire reactie-apparatuur, elektrische vacuüminrichting, halfgeleidermateriaal, elektronenmicroscoop en massaspectrometer en andere industriële apparatuur die ultrahoog vacuüm vereist.

specificaties: