Waterkoelingsturbomolecular Pomp/Magentically Levitatie ondergaane Pomp aan boord van Controlemechanisme

Maglev-pomp, CXF-320 / 3001E, waterkoeling, ISO-F, aan boord

Het elektromagnetische lager wordt ook "actieve magnetische zwevende beren" genoemd, bestaande uit een magnetisch lager, een sensor en een controlesysteem. Dit ontwerp heeft een dynamische respons en tijdige afstelling, de hogesnelheidsschachten en betrouwbare werking.

De magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn de pompen waarvan assen worden ondersteund door magnetische kracht.

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen zijn vacuüm genererende apparatuur ontwikkeld door KYKY voor het voldoen aan de applicatie-eisen voor gebieden van moderne halfgeleiderproductie, chipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten.

voordelen:

1. Geen wrijving tijdens het gebruik en een laag stroomverbruik

2. Makkelijk om echt schoon hoog vacuüm en ultrahoog vacuüm te verkrijgen zonder smering voor pompen

3. Geschikt om corrosieve gassen voor lange termijn te halen

4. Hoge veiligheid en lange levensduur door bescherming van lagers met precisie keramische ballen

5. stroomopwekkende functie in geval van plotselinge uitschakeling

6. Vrij van wrijving

7. Vrij van vervuiling

8. Vrij van onderhoud

9. Lage trillingen

10. geïnstalleerd in elke richting.

toepassingen:

Serie magnetisch zwevende moleculaire pompen worden voornamelijk toegepast op velden van halfgeleiderfabricage, clipproductie, industriële beplating en wetenschappelijke instrumenten, in het bijzonder voor extractie van corrosieve gassen die bestaan ​​in etsen, CVD, PVD en ionenimplantatie en gassen die gemakkelijk gecoaguleerd zijn bij normale temperatuur.

specificaties:

Technologies:

• Besturingstechnologie voor magnetisch lager: een 5-assig magnetisch zweefde, gebaseerd op geavanceerde internationale besturingstheorie, om dergelijke aanzienlijke voordelen van de hogesnelheidsschachten te garanderen als een stabiel zwevende en betrouwbare werking.
• Motor Drive Control Technology: High-efficiency high-speed DC motor en servobesturingssysteem, met maximale energie van de motor en om de rotatiesnelheid van shafting automatisch te compenseren, waardoor een stabiele start, betrouwbare werking en automatische regulerende functie van dynamische energie wordt gerealiseerd .
• Koolstofvezel composietrotortechnologie: Gemaakt door het samenstellen van een hoge sterkte aluminiumlegering en lichtgewicht koolstofvezel. gekenmerkt door een grote gewichtsvermindering en een grote verbetering van de sterkte, zodat doelen met een hoge rotatiesnelheid, hoge prestaties en hoge betrouwbaarheid worden bereikt.
• Corrosiebestendige technologie: oppervlakken van onderdelen in kamers worden behandeld met een speciaal proces, zodat de oppervlakken corrosie kunnen weerstaan ​​die wordt veroorzaakt door corrosieve gassen in halfgeleiderproductieprocessen gedurende een lange tijd. Bovendien worden inerte gassen zoals N2 volledig opgevuld met shafting van de pompen om de laagvacuümgedeelten in de pompen te beschermen, zodat de functie van stabiel afzuigen van corrosieve gassen gedurende lange perioden wordt gerealiseerd.
• Verwarmingstemperatuurregelsysteem: uitgerust met een elektrische verwarming en een temperatuurregelaar, koelwater, luchtbotverwarming, elektrische verwarming en warmte gedragen door beschermende gassen kunnen tijdens bedrijf worden bewaakt en geregeld, de temperatuur in de pompen kan op een bepaalde waarde worden gehandhaafd. op lange termijn worden sommige gasvormige stoffen niet omgezet in vaste stoffen bij normale temperatuur en niet afgezet in de pompen, en kan aan de eisen voor een speciaal proces zoals etsen worden voldaan.