De hoge Vacuümlucht 85L/S AR van Varian Ion Pump Convenient Operation 420L/S

Ionenpomp, 3L-400C, DN150CF, 420L / s Lucht, 85L / s Ar, -5KV

Sputter-ionenpomp is vacuümgenerator voor het verkrijgen van schoon en ultrahoog vacuüm. De ionenpomp werkt in een gesloten systeem waarvoor geen continue werkende steunpomp nodig is.

voordelen:

Deze serie pomp heeft voordelen zoals netheid, hoog vacuüm, nulruis, trillingen nul en bedieningsgemak.

toepassingen:

De sputter-ionenpomp is hoofdpomp van olie, minder ultrahoogvacuümset en kan worden toegepast op wetenschappelijke experimentapparaten zoals hoogenergetische deeltjesversneller, gecontroleerd thermonucleair reactie-apparaat, elektrisch vacuümapparaat, halfgeleidermateriaal, elektronische microscoop en massa spectrometer en andere industriële apparatuur die ultrahoog vacuüm vereist.

Beginsel:

Materiaal van anode is roestvrij stalen vat, en materiaal van kathode istitaniumplaat. Penning-ontladingsprocessen ioniseren gas onder de gezamenlijke werking van magnetisch veld en elektrisch veld, waardoor aldus het afvoeren van gas wordt gerealiseerd.

Triode-ionenpomp is verbeterd voor het verhogen van de pompsnelheid voor inert gas; ionen van inert gas worden onderworpen aan graasinval in het titaniumrooster van de kathode, vervolgens geneutraliseerd en gereflecteerd naar de pompwand en anode om begraven te worden met de titaniumfilm. Omdat inert gas dat in de pompwand is begraven niet zal worden vrijgegeven vanwege een positief ionenbombardement, neemt de pompsnelheid voor inert gas toe.

specificaties: