|
Productdetails:
Betalen & Verzenden Algemene voorwaarden:
|
| Oplossing: | SE: 3nm bij 30KV, 8nm bij 3kV; BSE: 4nm bij 30KV | Vergroting: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Monsterstadium: | Fase met vijf assen | Elektronenkanon: | Pre-gerichte Wolframgloeidraad |
| Markeren: | sem-elektronenmicroscoop,sem-machine |
||
Omdat KYKY meer dan 60 jaar SEM-productie-ervaring heeft, ondersteunt de hele EM-serie het oude, gerenoveerde en aangepaste systeem als SEM+, zoals de Electron Beam Lithography-remodellering, LaB6-upgrade, geïntegreerd met STM, AFM, verwarmingsfase; Cryo Stage; trekfase; Micro-nano-manipulator enz. Het systeem heeft ook meerdere interfaces in de kamer voor het bevestigen van de meeste analysedetectoren op de markt
Voordelen:
◆ Optionele laagvacuümmodules (LVSE,LVBSE)
◆ Rijke automatiseringsfuncties
◆ Aanpassing van kolom/kamer/elektrisch systeem
◆ Optionele grote kamer
◆ Grootveldnavigatiecamera
◆ Rijk uitbreidbare bijlagen
Specificaties:
| Item | EM6910 Wolfraamfilament SEM | |
| Oplossing | SE: 3nm@30KV, 8nm@3kV; BSE: 4nm@30KV | |
| Vergroting | 1x-450000x | |
| Elektronen pistool | Vooraf uitgelijnd wolfraamfilament | |
| Versnelde spanning |
0,2 kV-30 kV
|
|
|
Vacuümsysteem
|
Turbo Moleculaire pomp + mechanische pomp
|
|
| Objectief diafragma | Molybdeen-diafragma instelbaar buitenvacuümsysteem | |
| Monsterstadium | Vijf assen podium | |
| Reis | X(Automatisch) | 0 ~ 80 mm |
| Bereik | Y(Automatisch) | 0 ~ 50 mm |
| Z(Handmatig) | 0 ~ 30 mm | |
| R(Handmatig) | 360° | |
| T(Handmatig) | -5° ~ 70° | |
| Maximale monsterdiameter | 175 mm | |
| Detector |
Secundaire elektronendetector
|
|
|
Halfgeleider BSE-detector※
|
||
|
Infrarood CCD
|
||
| Laagvacuüm SED※/ Laagvacuüm BSED ※
|
||
| Wijziging | Podiumupgrade;EBL; STM; AFM; Verwarmingsfase; Cryo-fase; Trekfase; Micro-nano-manipulator; SEM+Coatingmachine;SEM+Laser | |
| Accessoires | LaB6, röntgendetector (EDS), EBSD, CL, WDS, coatingmachine | |
|
Laagvacuümfunctie※
|
Vacuümniveau 10-270Pa SE: 4nm@30kv,50Pa
|
|
Contactpersoon: Mr. Shawn Liu
Tel.: 86-10-82548271
Fax: 86-010-62564613